真空获得技术

通过机械、物理或化学等手段在特定容器中获得真空的专门技术。用以产生、改善和维持真空的装置称为真空泵。真空获得技术在真空电子器件工艺、固态电子...，因此，抽速和极限压强是评价真空泵性能的主要参量。 现代真空技术可获得从大...

真空电子器件工艺

零件加工工艺）、真空电子器件阴极工艺、真空电子器件制造工艺、真空获得技术和真空检漏技术。 　　在真空电子器件发展的初期，器件的功率小、频率低，多以...丝材绕制。雷达技术发展后，真空电子器件进入微波波段，对金属零件的精度要求...

真空蒸发工艺

×10-3帕以上，制作高纯薄膜须优于10-8帕（见真空获得技术、真空...材料和半导体材料，都可以通过真空蒸发工艺而获得淀积的薄膜。利用真空蒸发工艺形成各种薄膜是集成电路制备的一项重要技术。 　　真空蒸发工艺在微电子技术...

真空电子器件制造

，这有助于改善器件的性能（见真空获得技术）。 　　烘烤 　在排气过程...真空电子器件制造 正文　　零件经处理、装配，制造成真空电子器件，并通过老炼、调整、测试而达到设计所规定的性能要求，这一整个过程和方法即为真空...

中国图书馆图书分类法 (TB)

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