真空测量技术

真空测量技术 正文　　测量容器中或某部分空间气体的稀薄程度（即真空度）的技术。真空测量技术在真空电子器件工艺、固态电子器件工艺、集成电路...压强读数是否与气体种类有关等。 真空测量技术　　压缩式真空计 　又称麦克...

真空蒸发工艺

×10-3帕以上，制作高纯薄膜须优于10-8帕（见真空获得技术、真空测量技术）。 真空蒸发工艺　　加热 　在真空室中,被加热材料的蒸气压在1帕以上...形成各种薄膜是集成电路制备的一项重要技术。 　　真空蒸发工艺在微电子技术...

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